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TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论.此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义.
采用TMAH腐蚀液形成硅杯的研究
【摘 要】
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TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于、单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论.此研究对
【机 构】
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物理系,辽宁大学(中国沈阳)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年期
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