Si搀杂铝复合氧化膜制备及性能研究

来源 :中国电子学会第十四届电子元件学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaihuixinjie
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文介绍了本实验室铝电极箔增容技术中高介电常数复合氧化膜制备技术的最新研究成果,分析了水解沉积制备高介电常数铝复合氧化膜低压增容效果甚微的原因,提出了通过通过Si搀杂提高高介电常数铝复合氧化膜耐压强度的增容技术思想.研究发现,Si搀杂铝复合氧化膜制备技术不仅可实现低电压规格国产铝电极箔比容水平的提高,同时可有效降低高介电常数铝复合氧化膜的漏电流,具有良好的推广应用价值.
其他文献
本文详细论述了热敏电阻材料与器件国内外现状、市场需求和技术发展趋势,对我国"十一·五"发展战略提出了建议.
本文提出了一种新的语音激活检测算法,这种方法基于学习矢量量化算法进行实现,利用四维学习矢量进行网络训练,并与其他神经网络算法进行比较.仿真表明,这种基于神经网络的算
本文论述仪器测控总线发展历程与趋势,并以VXI、PXI总线系统为代表,比较和研究仪器测控总线特点及应用.
本文对基于m序列、RS码及混沌映射构造跳频序列进行了软件仿真,并对其性能进行了分析、比较.
本文从软件质量的有关概念出发,从软件开发过程的角度谈如何保证软件质量.主要包括软件质量的内涵、软件质量保证的实施、开放源码思想对软件质量工作的深远影响等几个方面.
本文讨论了MOSFET氧化层陷阱电荷和界面态电荷分离的几种方法,重点介绍了其中的中带电压法,并指出应用中带电压法进行电荷分离时中带电压的选取是其中的一个关键,利用中带电
在传统的条码识别中,一般采用扫描仪或工业摄像头采集数据,不存在透视问题,随着手持摄像设备的普及,拍摄的图片或多或少有透视效果,仍然沿用传统方法是不够的。本文在介绍了
大气无线光通信的调制方式有多种,但缺少综合的分析。本文研究分析了OOK(开关键控)、PPM(脉冲位置调制)、DPIM(数字脉冲间隔调制)和DH-PIM(双头脉冲位置调制)等调制方式的符
采用单π拓扑结构建立三维结构LTCC内埋置电容等效电路模型,并利用此模型来提取有效参数及各种寄生参数.采用相对介电常数ε r=7.8、介质损耗tan δ=0.0047微波陶瓷材料,设计
本文将材料特性、器件设计及制备工艺相结合,研究了低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性,利用高频结构仿真软件Ansoft HFSS对片式多层巴仑(balun)进行结构设计,采用LTCC制造工艺技