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The application of notching effect in one-step dry etch and release process for the fabrication of M
【机 构】
：
Micro and Nano Electromechanical Systems Laboratory,Northwestern Polytechnical University,Xi'an,710
【出 处】
：
中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
：
2008年期
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