【摘 要】
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抛光硅片的厚度、平整度、翘曲度和电阻率等参数对器件性能有重要影响。从美国ADE公司引进的MICROSCAN-8100-6型晶片测量和分选系统为国内测量硅片参数的最先进的测试仪器,其优点是功能全面,方便快
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
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抛光硅片的厚度、平整度、翘曲度和电阻率等参数对器件性能有重要影响。从美国ADE公司引进的MICROSCAN-8100-6型晶片测量和分选系统为国内测量硅片参数的最先进的测试仪器,其优点是功能全面,方便快捷,准确可靠。为了使该机能顺利应用于大生产中,我们开发了3英寸、4英寸和5英寸硅片的测量与分选,从而保证了 光片的表面质量,并达到监控硅片抛光工艺,提高成品率,降低生率成本的目的。
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