【摘 要】
：
利用溶胶-凝胶法普通载玻片衬底上制备出了铝离子掺杂的氧化锌(ZAO)透明压电薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)对制备的薄膜进行了表征，得出了不同的铝掺杂浓度下薄膜的表面形貌特征，同时用X射线衍射(XRD)表征生长的ZAO薄膜的取向，研究了不同的铝掺杂浓度及不同热处理条件对ZAO薄膜的晶格取向和结晶质量的影响；我们也应用了紫外.可见光分光光度计研究了不同退火温度对薄膜透射谱的影响。结果表明，1％铝掺
【机 构】
：
361005 厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心
【出 处】
：
2009年全国压电和声波理论及器件技术研讨会暨2009年全国频率控制技术年会
论文部分内容阅读
利用溶胶-凝胶法普通载玻片衬底上制备出了铝离子掺杂的氧化锌(ZAO)透明压电薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)对制备的薄膜进行了表征，得出了不同的铝掺杂浓度下薄膜的表面形貌特征，同时用X射线衍射(XRD)表征生长的ZAO薄膜的取向，研究了不同的铝掺杂浓度及不同热处理条件对ZAO薄膜的晶格取向和结晶质量的影响；我们也应用了紫外.可见光分光光度计研究了不同退火温度对薄膜透射谱的影响。结果表明，1％铝掺杂浓度条件下ZAO薄膜的结晶性与微观组织结构较优，其c轴择优取向性较好；在进行热处理100℃并退火600℃以上的条件下制备出的ZAO薄膜，其c轴取向都较优，单晶结晶性能较好，且光学透射性能较好。
其他文献
本文分析了圆板压电俘能器的性能，压电俘能器由压电俘能单元、储能单元以及整流界面三部分组成，其中，整流界面用以将俘能单元和储能单元连接成一个整体。压电俘能单元由圆板型压电双晶片结构及与其并联的带同步开关的电感线圈(SSHI)组成；大容量电容器作为储能单元以储存俘能结构所俘取的能量；全桥整流界面将压电俘能单元所输出的交流电转换成方便储存的直流电。利用线性压电理论和多时间尺度分析方法对俘能过程进行了仔细
本文基于原子层次的一些基本假设，利用core-shell模型势函数对多畴BaTiO3晶体进行了分子动力学模拟，研究了分析一定电场作用下畴壁区域晶体的极化特性，得到了二维极化矢量图，并分析了平衡过程中晶体内部极化和应力的变化过程，发现BaTiO3晶体180°畴在电场作用下极化矢量与应力耦合振荡实现平衡，并且应力振荡与极化振荡的周期基本一致。
基于压电线性弹性理论，不作任何预先变形或应力的假设，利用横观各向同性压电通解和Lure算子方法，从压电矩形厚板的三维理论出发，系统直接地得到不同形式的二维方程。这些方程构成了压电板的精化理论，表明压电板的位移和应力分量可以由板中面的广义力学位移和电势表示。对于板的上下表面不受横向载荷和电位移的情况，得出压电板的精确方程，相应解满足压电弹性理论的所有方程，由三个部分组成：双调和部分，剪切部分和超越部
基于叠层型压电陶瓷在低频范围内变形幅值大的特点，提出了一种新型非共振式压电直线电机。对电机的工作原理进行了分析，利用有限元软件对电机的结构进行了设计，并制作了原理样机。该电机在低频范围内的机械特性较好，工作频率可调，工作状态受外界影响小。实验表明，电机可在300Hz～7kHz范围内工作，其运行速度与工作频率成正比。电机最大无负载速度5mm／s，最大输出推力4.8N。
本文将MEMS技术用于矢量水听器的设计与研制中，介绍了以微机械加工技术为基础的矢量水听器的工作原理与设计方法，具体分析了检测单元MEMS敏感芯片微机械结构设计及工艺实现方法等，对二阶系统悬臂梁结构进行了建模分析，在理论分析的摹础上，研制了基于MEMS技术的三维同振柱型压阻式组合矢量水听器，并给出了矢量水听器的声性能测试结果。
本文给出了功能梯度压电梁在任意分布载荷下的解析解。材料参数沿梁的高度以指数形式变化。任意载荷可以由正弦级数展开得到。首先导出各向异性功能梯度压电材料平面问题的应力函数和电位移函数所满足的偏微分方程，然后假定应力函数和电位移函数分别为长度方向的三角函数与高度方向为待定函数的乘积，再叠加长度方向的的一次多项式函数的形式，接着求出应力，电位移，轴力，剪力，弯矩，平均电位移，位移和电势的表达式，再利用边界
以压电薄膜泵对不同粘度流体的驱动特性进行仿真分析和实验研究。对压电泵在输送不同粘度液体时液体粘性的影响规律进行了理论分析，得出了压电泵流场压力损失的计算公式；对单腔体有阀压电泵的内部流场进行了数值模拟，得到了泵腔内的流动特性；分析了液体粘度对泵腔内压力分布和流体流速的影响；进行了相关的实验测试与分析，研究了压电泵在输送粘度液体时的流量系数和压力系数。实验结果对今后研究和设计粘度压电泵具有重要的借鉴
本文报道采用硬质模板制备有序结构压电驻极体膜的方法。以多孔聚四氟乙烯(PTFE)和氟化乙丙烯共聚物(FEP)为基材，利用该方法成功制备出具有有序结构的压电驻极体复合膜。通过介电谐振谱的测量确定了有序结构复合膜的杨氏模量；利用正压电效应测量了其准静态压电系数d33；利用等温衰减对材料的热稳定进行了表征；采用短路热刺激放电技术对有序结构压电驻极体复合膜中电荷的动态特性进行了研究。结果表明，这类五层结构
采用模板法制备了由两层致密氟化乙丙烯共聚物(FEP)和一层致密聚四氟乙烯(PTFE)构成的有序微孔结构氟聚合物压电驻极体膜。通过准静态压电系数d33的测量表征了氟聚合物压电驻极体的压电活性。利用等温衰减的方法研究了d33的热稳定性。结果表明，有序微孔结构氟聚合物压电驻极体的准静态d33可达300 pC／N，杨氏模量约为0.28 MPa。与无序结构氟聚合物压电驻极体相比较，有序结构膜具有更好的d33
随着系统向集成化、模块化方向发展，晶体振荡器小型化、低功耗的要求越来越高。首先制定小型低功耗石英晶体振荡器的设计方案，解决减小晶片等效电阻和降低芯片工作电压、输入电流的问题，然后通过晶振样品的制作与测试情况，对设计方案进行验证——尝试了多个典型频率晶振的研制，平均功耗为1.5mW，与常见晶振相比功耗大大降低。