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KrF准分子激光移相光刻在HEMT栅加工中的应用及移相器方式的选择
【机 构】
:
科学院微电子中心(北京)
【出 处】
:
第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会
【发表日期】
:
1997年期
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