【摘 要】
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基于聚合物绝缘材料,采用溶液法旋涂工艺制作有机薄膜晶体管,通过不同栅极和漏极的制备工艺,对比有机薄膜晶体管的器件性能.结果表明,不同金属电极的制备工艺对器件的开态电
【机 构】
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上海交通大学 电子信息与电气工程学院 电子工程系 TFT-LCD关键材料技术国家工程实验室 上海 200240
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基于聚合物绝缘材料,采用溶液法旋涂工艺制作有机薄膜晶体管,通过不同栅极和漏极的制备工艺,对比有机薄膜晶体管的器件性能.结果表明,不同金属电极的制备工艺对器件的开态电阻影响明显.当采用lift-off工艺,开态电阻约为4.8×107Ω;采用湿刻工艺对蒸镀在绝缘层材料上的金属电极进行处理,开态电阻会有明显的下降,约为3.6×106Ω.
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