【摘 要】
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Auriga是CarlZeiss高端的双束加工平台,电子腔采用专利的Gemini镜筒设计,具有卓越的高低电压分辨能力;静电透镜的设计,保证样品室内无漏磁,实现SEM和FIB镜筒的实时观察;FIB镜
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Auriga是CarlZeiss高端的双束加工平台,电子腔采用专利的Gemini镜筒设计,具有卓越的高低电压分辨能力;静电透镜的设计,保证样品室内无漏磁,实现SEM和FIB镜筒的实时观察;FIB镜筒的分辨率达到2.5nm,束流稳定,很好的满足微纳米加工的需求;Zeiss具有专利的透射样品制备的X2样品台,可以实现小于10nm的超薄样品制备;镜筒内的能量选择背散射探头能够实现在低电压下对样品的细微成分衬度的观察.另外,Auriga在三维表面重构及复杂图形加工方面也具有突出的表现.
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