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坡莫合金薄膜拥有很好的软磁性能,在磁传感器、磁随机存储器等自旋电子学器件方面有着广阔的应用前景[1].但是由于其轨道磁矩的淬灭,自旋-轨道耦合系数小,导致了磁化动力阻尼因子很小.稀土的掺杂能够增大坡莫合金的磁化动力阻尼因子[2],但同时可能增加磁各向异性,破坏软磁特性.因此低含量稀土掺杂的研究有重大的应用价值.本文针对轻稀土Nd的低含量掺杂,研究了Nd-Py合金薄膜的磁性、磁各向异性以及磁化动力阻尼因子.