利用光致发光谱和二次离子质谱研究SIMOX材料顶层硅膜中残余氧的行为

来源 :中国兵工学会第10届测试技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：crr0808

【摘要】

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利用光致发光谱(PL)和二次离子质谱(SIMS)检测了不同退火处理的SIMOX材料的顶层硅膜.实验结果显示,SIMOX顶层硅膜的PL谱有三个峰:它们是能量为0eV(与导带底的距离)的a峰、能

【作者】

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李映雪张兴黄如王阳元罗晏

【机构】

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北京大学微电子研究所(北京海淀)

【出处】

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中国兵工学会第10届测试技术研讨会

【发表日期】

：

2000年期

【关键词】

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利用光致发光谱(PL)和二次离子质谱(SIMS)检测了不同退火处理的SIMOX材料的顶层硅膜.实验结果显示,SIMOX顶层硅膜的PL谱有三个峰:它们是能量为0eV(与导带底的距离)的a峰、能量为0.33eV的b峰和能量为0.35eV的c峰.与RBS谱相比,我们发现a峰峰高及b/a峰值比是锋衡量顶层硅膜单晶完整性的标度.谱峰b起源于SIMOX材料顶层硅膜中残余氧,起施主作用.SIMS测试结果显示,谱峰c来源于SIMOX材料顶层硅膜中的碳和氮.

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