【摘 要】
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Diamond has the highest surface acoustic wave (SAW) velocity among all materials.It can also provide high breakdown voltage,radiation hardness and high thermal
【机 构】
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Department of Materials Science and Engineering, National Cheng-Kung University, Tainan701, Taiwan
【出 处】
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第七届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
论文部分内容阅读
Diamond has the highest surface acoustic wave (SAW) velocity among all materials.It can also provide high breakdown voltage,radiation hardness and high thermal conductivity.These properties make diamond a promising material for fabrication of high power,high frequency and high temperature solid-state microelectronic devices.But diamond is not piezoelectric; we make it a suitable substrate for SAW devices when coupled with piezoelectric thin films such as Aluminum Nitride (AlN).
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