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本文利用等离子体增强化学气相沉积技术,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)树脂片上沉积了含氢非晶碳(a-C:H)膜,利用可见光和紫外激发双波段的拉曼光谱分析了所沉积薄膜的结构特征,并对两种拉曼光谱进行了比较研究.测试分析结果表明,紫外拉曼光谱能够很好地屏蔽掉由于薄膜含氢量较多所带来的光致发光效应的影响,更好地表征含氢非晶碳膜的结构.