Fluid simulation of phase-shift effect in hydrogen capacitively coupled plasmas

来源 :2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:intaaae
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
A two-dimensional self-consistent fluid model coupled with the full set of Maxwell equations is established to investigate the phase shift effect on transient behaviors of electrodynamics and power deposition in a hydrogen capacitively-coupled plasma.
其他文献
四川盆地是我国四大盆地之一,处于长江上游,西临世界屋脊青藏高原,南接云贵高原,是我国环境变化的敏感区、脆弱区和关键区,其气候变化具有典型的区域特色.应用对比分析的方法
电子监察是具体落实国家和行业政务服务一体化办理的重要组成部分.本文以电子监察系统的设计和应用为例,从制度建设、系统设计、功能和详细技术实现出发,探讨了电子监察系统
全球变化(Global Change)一词自出现以来,研究范围与尺度随着社会进步和科学发展而不断丰富和拓展.其科学内涵可概括为:对人类现在和未来生存与发展有重要的直接或潜在影响、
《尚地产》创刊一年来,中国地产界可谓风云变幻,大事迭起。楼市是战场,更是多事的江湖。现在,就让我们回过头来,再看看这一年的地产江湖事。后“8·31”时代“8·31”后,中
在全球气候变化的影响下,近50 年来河北省海岸带地区地理环境要素发生了许多变化.与全球气温变化趋势一致,河北省海岸带地区气温逐渐趋升,降水逐年减少.全球气温上升,冰川融
利用LI-6400 便携式光合作用测定系统和LI-8100 自动土壤呼吸测量系统,于生长季同步测定了艾比湖地区的棉花和芦苇群落的光合与土壤呼吸时间动态及主要环境影响因子,并对两者
通过对新疆于田县5 种不同下垫面的小气候因子进行观测,探讨了不同下垫面气温、地温、相对湿度、风速、蒸发等小气候因子在特征值、逐日变化幅度、垂直变化上的差异性特征.结
会议
家用除铁净水器有效高度为400mm,容积4.3L,每小时出水量30~40L,一步运行在除铁的同时还能除锰,解决了除铁装置不能除锰的难题。对pH值、溶解氧浓度、色度、水温等影响因素进行了试验。结果表明pH值在
根据乌鲁木齐大气环境质量监测数据,对2001 年 ~2010 年期间乌鲁木齐市大气环境质量污染特征和主要污染物的变化趋势进行了分析.结果表明,2001 年 ~2010 年乌鲁木齐市
会议
农业废弃物中蕴含着巨大能量,如果未合理再利用,会造成资源浪费甚至严重污染环境.为了将可持续发展理念变成现实的可操作目标,人类必须知道自己对自然资产利用的状况,因此需