论文部分内容阅读
以功能需求为基础，设计了化学气相沉积系统的结构，搭建了一套多功能化学气相沉积系统。该设备由加热系统、导轨、气体控制系统、电控系统和真空系统组成。加热系统实现程控加热，导轨帮助实现样品在高低温区间快速转换，气体控制系统控制气体流速，电控系统控制气动阀实现氧气与可燃气体互锁，真空系统实现10-4 Torr的低压。本化学气相沉积系统的目标是生长石墨烯及碳纳米管。实验结果表明，本系统能够制备出高质量的单层石墨烯、碳纳米管水平和垂直阵列，并能够实现退火及硅热氧化。