含有光产酸基团的甲基丙烯酸类聚合物是由对苯乙烯磺酸钠衍生物,甲基丙烯酸和甲基丙烯酸叔丁酯通过自由基共聚反应得到的三元共聚物,含有光照产酸基团,称为聚合物光产酸剂(polymer bond PAG)。该聚合物光产酸剂在乳酸乙酯中具有很好的溶解性。用低压汞灯(254nm)进行曝光时,紫外吸收图谱表明随曝光时间的增加产酸剂在248nm的吸收逐渐减小,测得的产酸效率在1%以上。可用于248-nm化学增幅光刻胶。由于光照产生的酸是大分子的磺酸,后烘过程中,产生的酸被聚合物长链束缚,从而减少了酸迁移现象的发生,与小分子产酸剂相比,能够有效地提高光刻图形的分辨率。与此同时由于酸被聚合物长链束缚无法自由移动,可导致最终光刻成像的感度偏低。因此可与高酸解活性的酯缩醛聚合物组成二组份248-nm化学增幅型光致抗蚀剂体系。