硅衬底上高质量氮化铝的GSMBE生长及表征

来源 :中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xsyangle

【摘要】

：

用NH3作气源的MBE法在Si(111)和Si(100)衬底上外延生长了高质量的AIN单晶薄膜.在生长开始前,先沉积A1以覆盖Si衬底表面防止Si的氮化.用XRD,DCXRD(X射线双晶衍射)、原位RHEED(

【作者】

：

罗木昌孙殿照曾一平林兰英王晓亮刘宏新王雷李晋闽孙国胜胡国新张小平潘华勇

【机构】

：

中国科学院半导体研究所材料中心,北京912信箱,100083

【出处】

：

中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会

【发表日期】

：

2002年期

【关键词】

：

硅衬底质量氮化铝原子力显微镜外延层高能电子衍射外延生长双晶衍射单晶薄膜衬底表面表面形貌结晶性反射式原位射线气源表征

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用NH3作气源的MBE法在Si(111)和Si(100)衬底上外延生长了高质量的AIN单晶薄膜.在生长开始前,先沉积A1以覆盖Si衬底表面防止Si的氮化.用XRD,DCXRD(X射线双晶衍射)、原位RHEED(反射式高能电子衍射)、AFM(原子力显微镜)等分析手段对外延层进行了结晶性和表面形貌的表征,证实了A1N外延层具有较高的质量.

其他文献

采用MCS-51单片机测频定音的一种方法

文章阐述了一种运用AT89C51单片机为核心的测量某乐器单音频率的方法与技术,从而可根据测量结果对这一乐器调音定音.在对乐器的高音区和低音区频率进行测量时,本文给出了测周

会议

单片机测频测量结果乐器单音频率测量方法运用技术高音调音低音

基于SQL的关联规则挖掘算法的研究

随着数据库规模的增长以及发现隐藏在数据库中的规则的重要性使得数据挖掘越来越受到关注.现今的数据库系统基本上是以关系数据库为主,这样用标准的SQL查询实现数据挖掘就很

会议

关联规则数据库系统数据挖掘关系数据库挖掘算法中介增长查询标准

基于Agent的商业智能决策支持系统研究

本文将智能体(Agent)、决策支持系统(DSS).WEB网技术与商业管理信息体系(BMIS)结合,建立了基于Agent技术的商业智能决策支持系统框架模型,并讨论了框架中各类Agent的结构及Ag

会议

商业智能决策支持系统系统框架模型信息体系实现方式商业管理技术结构

氩离子激光同阈下微脉冲激光治疗糖尿病性黄斑水肿的临床研究

目的比较氩离子激光、5%和10%负载循环阈下微脉冲激光治疗糖尿病性黄斑水肿的疗效。方法对符合DME患者121例145只患眼,随机分为3组,氩离子激光组40例49只眼、5%负载循环阈下

期刊

激光糖尿病性黄斑水肿治疗

Pentacam系统测量准分子激光角膜屈光手术前近视患者角膜厚度的临床观察

目的比较Pentacam系统与A型超声角膜测厚仪测量准分子激光手术前近视患者中央角膜最薄点厚度的差异.方法对准备行准分子激光角膜屈光手术的近视患者69例138只眼,分别采用Pe

期刊

激光Pentacam系统超声测厚仪角膜厚度近视

故障诊断的数据融合方法

评述了基于数据融合的设备故障诊断方法发展状况,将其分为四大类,即贝叶斯定理融合故障诊断方法;模糊融合故障诊断方法;D-S证据理论融合故障诊断方法;神经网络数据融合故障诊

会议

故障诊断数据融合诊断方法诊断原理神经网络模糊融合理论融合发展状况局限性贝叶斯证据设备定理

一种自适应天线方向图干扰零陷加宽方法

在自适应天线阵抗干扰的一些应用环境中,往往需要自适应天线方向图在对准干扰的位置形成宽的零陷从而增强算法的稳健性.本文在假设干扰位置变化为均匀分布的条件下,导出一种

会议

自适应天线方向图抑制干扰形成方法位置扰动增强算法应用环境位置变化均匀分布仿真结果运算量天线阵抗干扰计算机证明失配加宽导出波束

三种激光单独或联合应用治疗各型血管角皮瘤的策略探讨

目的观察各型血管角皮瘤激光治疗方法的临床疗效。方法血管角皮瘤患者19例,根据各型的不同特点分别或联合应用CO2激光、脉冲染料激光和长脉冲Nd∶YAG激光进行治疗。术后随访1

期刊

激光血管角皮瘤治疗

数据挖掘过程中信息演化现象的研究

在对基于统计数据仓库的海量历史数据进行数据挖掘和知识发现过程中,产生出一大类带有时态特征的演化信息,可以归结定义为演化过程,通过对万峰统计数据仓库中进行数据挖掘和

会议

统计数据仓库挖掘过程演化信息演化过程数据挖掘发现过程知识数学模型时态特征过程模型历史规则

5-氨基酮戊酸光动力疗法治疗扁平疣的临床疗效观察

目的观察5-氨基酮戊酸光动力(5-aminolevulinic acid photodynamic therapy,ALA-PDT)疗法治疗扁平疣的临床疗效.方法扁平疣患者112例,分为治疗组52例,采用5-ALA-PDT治疗,应

期刊

光动力治疗扁平疣5-氨基酮戊酸

硅衬底上高质量氮化铝的GSMBE生长及表征

与本文相关的学术论文