2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统

来源 :2010年全国几何量精密测量技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ssfdlah
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阐述了2 m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准。最后对2 m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2 m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10 nm(1σ)。
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