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针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)中广泛应用的轻敲模式原子力显微镜，建立Lennard-Jones力场作用下的针尖—样品物理模型和系统动力学方程，应用现代微分方程与分岔理论，分析了微尺度下Lennard-Jones力场、压膜阻尼效应和立方刚度对AFM针尖—样品耦合系统动力学行为的影响规律。结果表明，压膜阻尼比是影响AFM探针—样品模型系统动力学特性的重要因素之一，对其进行深入研究有利于探讨原子力显微镜系统响应的非线性动力学行为。