【摘 要】
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在微型图案的小型化过程中,微图案的粘附失效已成为微电子生产中的一大问题.基于此考虑,为提高粘附强度,在200~250℃下对抗蚀剂图案进行处理.然而,在酚醛软化点156℃之上时,就会发生热变形.本实验讨论了影响抗蚀剂微图案的变形因素,重点研究形状对形变度的影响.
【机 构】
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Nagaoka University of Technology(日本)
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在微型图案的小型化过程中,微图案的粘附失效已成为微电子生产中的一大问题.基于此考虑,为提高粘附强度,在200~250℃下对抗蚀剂图案进行处理.然而,在酚醛软化点156℃之上时,就会发生热变形.本实验讨论了影响抗蚀剂微图案的变形因素,重点研究形状对形变度的影响.
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