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基于MOEMS(微光机电)技术,研究了一种微F-P腔阵列的可调谐滤波器.根据设计的不同,调谐范围可在可见光、近红外、中远红外.以8-10 um长波红外为例,设计了微F-P腔的增反膜,中心波长反射率达99.2%.这种调谐滤波器,可以精确、快速调谐波长,体积小,重量轻,在超光谱成像系统中有着广泛的应用前景.