半导体厂湿式清洗台在制程中使用了大量的易燃性化学品，以及加热设备，极易产生火灾危害，在统计数据中半导体厂湿式清洗台引起火灾的事件始终居高不下，为防止相同的事故一再发生，在湿式清洗台中时常设置主动灭火系统，其中细水雾亦为其中一个选项，本研究即以细水雾系统为研究对象，在不同的测试参数下进行灭火效能的研究与探讨。 本研究以湿式清洗台常用之清洗剂丙酮做为火源，由于丙酮具极低的燃点，在以细水雾灭火上具一定的困难度，为厘清细水雾灭火的条件，本研究以实场测试进行效能评估，测试的参数有系统操作压力、喷头位置、喷头数量及火源大小等进行测试，由测试结果厘清各参数对灭火的影响。由研究结果发现，细水雾系统应用于湿式清洗台，必须要特别注意系统的设计，唯有适当的设计才能达到灭火的要求。