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硅微机械谐振器是微机电系统的典型结构,本文设计制作了基于体硅工艺的、用梳齿电容驱动的谐振器.在设计过程中,使用有限元分析软件进行了大量辅助分析,对谐振器的工作情况进行了仿真,预先估算出谐振器的应力分布、振动模态以及冲击响应等基本性能参数,这对谐振器的工艺流程设计和结构改进具有重要意义.谐振器的初步测试结果与有限元分析的结论基本吻合,进一步说明有限元方法是微机电系统设计的一个有力工具。