【摘 要】
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本文针对直线电机驱动、气浮导轨支承的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点,为了在较短的位置伺服周期内(110us)抑制工作台上的线缆扰动以及直线电机推力波动的影响
【机 构】
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清华大学,精密仪器与机械学系制造工程研究所,北京,100084
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本文针对直线电机驱动、气浮导轨支承的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点,为了在较短的位置伺服周期内(110us)抑制工作台上的线缆扰动以及直线电机推力波动的影响,提高工作台的轨迹跟踪精度,采用了基于精密工作台名义模型的方法设计扰动观测器,构成PD+扰动观测器的运动控制结构.通过实验,与没有扰动观测器的PD控制相比较,工作台静态定位精度提高了0.5μm,以120mm/s匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了3μm.结果表明,该控制方法计算量小,抑制外部扰动效果好,有利于工作台综合性能的提高.
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