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ZnO 作为第三代宽禁带半导体,提升其光电特性一直是研究ZnO 的一个热点问题。本文研究了准分子激光辐照ZnO 单晶后,单晶的结构、表面形貌和光电特性的变化。经过能量密度为257mJ/cm2 的准分子激光辐照后,ZnO 单晶展示出了一系列变化:XRD 和拉曼光谱结果表明辐照后ZnO单晶的结晶质量只发生了轻微的变化;辐照后ZnO 单晶的电阻率下降了两个数量级,载流子浓度增加了一个数量级。