准分子激光辐照改变ZnO单晶的表面和光电特性研究

来源 :中国物理学会2016年秋季会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cq2427

【摘要】

：

ZnO 作为第三代宽禁带半导体,提升其光电特性一直是研究ZnO 的一个热点问题。本文研究了准分子激光辐照ZnO 单晶后,单晶的结构、表面形貌和光电特性的变化。经过能量密度为257mJ/cm2 的准分子激光辐照后,ZnO 单晶展示出了一系列变化：XRD 和拉曼光谱结果表明辐照后ZnO单晶的结晶质量只发生了轻微的变化；辐照后ZnO 单晶的电阻率下降了两个数量级,载流子浓度增加了一个数量级。

【作者】

：

曾勇赵艳蒋毅坚

【机构】

：

北京工业大学激光工程研究院,北京 100124

【出处】

：

中国物理学会2016年秋季会议

【发表日期】

：

2016年5期

【关键词】

：

ZnO单晶激光辐照表面形貌光电特性

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