Micro and nano-fabrication by plating technology

来源 :中日高校化工-材料技术与应用论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mysunmoon

【摘要】

：

Contents Historical background Several clues toward micro to nano-fabrication provide serendipitous discoveries Recent studies relating microelectronics Conclus

【作者】

：

Hideo Honma

【机构】

：

KantoGakuinUniversity

【出处】

：

中日高校化工-材料技术与应用论坛

【发表日期】

：

2011年11期

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Contents Historical background Several clues toward micro to nano-fabrication provide serendipitous discoveries Recent studies relating microelectronics Conclusion.

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