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SiO2/聚酰亚胺（PI）/SiO2/PI/SiO2复合绝缘薄膜性能研究
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会论文集（下册
【发表日期】
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2013年08期
其他文献
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