【摘 要】
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压电材料的声表面波机电耦合系数Ks2是表示声表面波能量和电能相互转换效率的一个重要参数,它也是研究压电材料以及设计和制做声表面波器件时必须考虑的一个重要参数.声表面
【机 构】
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北京长峰声表面波公司,北京市海淀区永定路50号142信箱85分箱 100854
【出 处】
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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
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压电材料的声表面波机电耦合系数Ks2是表示声表面波能量和电能相互转换效率的一个重要参数,它也是研究压电材料以及设计和制做声表面波器件时必须考虑的一个重要参数.声表面波机电耦合系数Ks2可以近似的采用公式Ks2=2(Vf-Vm)/Vf来进行计算,式中Vf为声表面波的自由表面传播速度,Vm为声表面波在表面短路情况下的传播速度,为了比较准确的测量压电基片材料的声表而波机电耦合系数,我们设计了两种频率约为100MHz的声表面波双延迟线的图形,一种是自由表面的声表面波双延迟线,用以确定声表面波在自由表面的传播速度Vf,另一种是带有金属膜短路覆盖部分的声表面波双延迟线,用以确定声表而波在表面短路情况下的传播速度Vm.将这两种声表面波双延迟线分别作在同一个基片上,然后,采用矢量网络分析仪Agilent E5062A对每一种随机抽取一定数量的样品进行延时测量,分别计算出平均的Vf,Vm,代入上述公式求出Ks2.采用此方法分别对128°Y-X LiNbO3、64° Y-X LiNbO3、Y-Z LiNbO3以及X-112°YLiTaO3、36°Y-X LiTaO3进行了测量和计算,其结果和松村祯夫等人所发表的结果比较一致.
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