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紧凑型固态化是脉冲功率技术发展的趋势，本文介绍了紧凑型固态脉冲功率系统研制的关键部件及结构设计，关键部件主要包括固态陶瓷平板传输线，高功率GaAs 光导开关以及激光二极管触发系统。开展了单路Blumlein 脉冲形成线实验，结果表明：基于固态平板传输线、光导开关以及激光二极管触发系统的紧凑型脉冲功率的研制具有可行性，负载上获得了超过20kV 的高压脉冲输出。研究了GaAs 光导开关的导通特性，分析了GaAs 光导开关非线性导通带来的破坏，开展了叠加Blumlein 脉冲形成线的初步实验。