【摘 要】
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氧化锌材料是新一代宽禁带光电子半导体材料，我们通过等离子体分子束外延设备，在a-plane的蓝宝石衬底生长了高质量的氧化锌外延材料。在生长过程中用反射高能电子束衍射仪(
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室,510275;大阪工业大学新材料研究中心
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氧化锌材料是新一代宽禁带光电子半导体材料，我们通过等离子体分子束外延设备，在a-plane的蓝宝石衬底生长了高质量的氧化锌外延材料。在生长过程中用反射高能电子束衍射仪(RHEED)，在位地研究了生长时材料薄膜的表面形貌。为了使材料更好地应用于器件，研究了材料的搀杂性质。并通过调节ZnMgO材料镁的组份，生长了禁带宽度可调的宽禁带材料。
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