论文部分内容阅读
该文着重描述了用RCA化学清洗方法是如何制备出优化的超薄氧化硅膜的。同时，针对它在多晶硅发射极器件中的应用，通过时该膜在不同制备条件下的测量及退人前后的比较，进一步对该薄膜的一些应用特性进行了研究。
超簿RCA氧化硅膜的特性研究
【摘 要】
：
该文着重描述了用RCA化学清洗方法是如何制备出优化的超薄氧化硅膜的。同时，针对它在多晶硅发射极器件中的应用，通过时该膜在不同制备条件下的测量及退人前后的比较，进一步对该
【机 构】
：
大学微电子研究所
【出 处】
：
第六届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
：
1998年期
其他文献
该文通过研究分布式企业级业务系统设计方法和一个典型实例，提出通过增加全系统各个局部的可用度来提高计算机和网络系统可靠性、可用性和可维性的概念。
该文研究一个由噪声摄动的二级Ｒａｔｔｌｉｎｇ系统，直接采用非高斯截断技术，导出一个用平均映射描述的离散随机模型。
该文从研究图象的变分模型出发，提出了基于ＲＢＦ网络的图象拟合模型，并推导出了一种新的不同于高斯型的辐射基函数，进一步利用凸集投影理论给出了网络的学习算法，从而得出了一种新的基
本文提出了用遗传算法选择RBF神经网络隐含层神经元的中心值的方法和RBF神经网络离线学习算法.
该文简要介绍了中国沿海RBN-DGPS系统的基本情况及其特点，重点研究了系统的精度问题。在分析测试数据的基础上，文章认为，该系统是一个节约大量投资、用户广泛、效益显著的空间信
RB功能的正常投入可实现机组在重要辅机故障下的自动、快速、稳定减负荷，大大提高机组整体自动化水平。该文结合淮南田家庵发电厂＃5机组（30OMW）RB试验的情况，简要说明了300MW机组R
利用VisuaILISP(VLISP)语言作为AutoCAD2000的二次开发工具，引入Windows操作系统下对话框技术，改善了轮胎RCAD2000系统用户界面，并使之功能增强，并详细论述了对话框技术的应用与