【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法制备了H2敏感的ZnO气敏薄膜，利用XRD和Uv-Vis光谱研究了薄膜的晶体结构和吸收光谱。结果表明在400℃以上热处理得到的ZnO纳米薄膜为纤锌矿结构。在此基础上系
【机 构】
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北京航空航天大学材料物理与化学研究中心，北京，100083 郑州轻工业学院技术物理系，郑州，450002
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采用溶胶-凝胶法制备了H2敏感的ZnO气敏薄膜，利用XRD和Uv-Vis光谱研究了薄膜的晶体结构和吸收光谱。结果表明在400℃以上热处理得到的ZnO纳米薄膜为纤锌矿结构。在此基础上系统研究了Al3+的掺杂浓度，气体浓度对znO薄膜气敏元件的影响。结果表明，在Al3+的掺杂浓度为0.5at％时气敏灵敏度最高，并且灵敏度随着浓度线性增加。
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