【摘 要】
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介绍了静态累积法极小气体流量测量技术,实现了小于10-10Pa·m3/s 流量的测量.在固定流导法的基础上,将标准气体流量不被校漏孔两者产生的离子流信号进行累积放大,避免了
【机 构】
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兰州物理研究所,真空低温技术与物理重点实验室 兰州 730000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
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介绍了静态累积法极小气体流量测量技术,实现了小于10-10Pa·m3/s 流量的测量.在固定流导法的基础上,将标准气体流量不被校漏孔两者产生的离子流信号进行累积放大,避免了由本底离子流信号造成的信号淹没,无法有效区分的问题,该斱法测量范围为(7.34×10-12～4.23×10-10)Pa·m3/s,合成标准不确定度为2.3％.另外采用固定流导法进行大于10-10Pa·m3/s 量级真空漏孔的校准,测量范围为(4.14×10-10～1.56×10-8)Pa·m3/s,合成标准不确定度为2.2％.本文提出的极小气体流量测量技术,满足了目前小于10-10Pa·m3/s 真空漏率校准的计量需求.
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