论文部分内容阅读
论述了介质阻挡绳 离放电形成方法及其产生臭氧的等离子体反应过程， 实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和分解。为此，采用α型Al<,2>O<,3>制成电介质薄层(23μm)以及窄放电间隙(110μm)的新工艺、新技术，取得折合电场强度E/n大于400Td的强电离放电电子取得平均能量大小10eV，臭氧浓度达到250g/Nm<3>，臭氧产生效率达到200g/kwh。进而，实现臭氧产生装置生产组合模块化、小型化。