【摘 要】
：
激光晶化是目前制备低温多晶硅(LTPS)的重要手段.本文报道了采用YAG脉冲激光器对硅基薄膜进行晶化制备多晶硅的初步实验结果.其中主要针对不同驱物(如为PECVD法制备的非晶硅
论文部分内容阅读
激光晶化是目前制备低温多晶硅(LTPS)的重要手段.本文报道了采用YAG脉冲激光器对硅基薄膜进行晶化制备多晶硅的初步实验结果.其中主要针对不同驱物(如为PECVD法制备的非晶硅或微晶硅)以及对激光能量的利用等问题进行了分析研究.实验发现,晶化需要基本的阈值能量流密度.晶化硅基前驱物材料的结构,是决定此阈值的关键.延迟降温速率可能对激光晶化是一种较为有效的手段.对所得的初步结果进行了讨论.
其他文献
本文以多体系统理论为基础,应用碰撞伤害模拟软件MADYMO建立了基于美国韦恩州立大学侧面碰撞台车试验基础上的三维多体数值仿真模型.此仿真模型包括选用的MADYMO数据库中的BI
在产品开发过程中推行6SIGMA管理,利用QFD质量功能展开将顾客的需求转化成质量特性,对准顾客需求焦点,设计开发适用于纯平单聚焦彩色显像管的核心部件SFCD单聚焦电子枪,正确
从世界范围来看,液晶显示产业方兴未艾,发展热头正旺.预计今后十年、二十年液晶显示器都将是平板显示的主流产品.我国液晶显示行业尽管也走过了二十多个年头,有了一定的基础.
作为OLED的一个主要部分,ITO的表面形貌以及表面性能,对整个器件的性能起决定性作用.我们分别采用超声波清洗、OPlasma、UV-ozone方法对ITO的表面进行处理,用原子力显微镜(AF
目的:观察对急性心肌梗死(AMI)病人院前及院内尿激酶静脉溶栓的有效性及安全性.方法:入选AMI病人120例,按发病时间至开始静脉溶栓给药的时间,两组均≤12小时.入选者立即嚼服
本文首先简要介绍了一种以89C52单片机为控制核心的有机电致发光矩阵显示屏驱动控制电路,并对限制其帧频提高的原因做了剖析,在此基础上提出了一种改进设计方案,通过Xilinx f
OLED各项光电性能测试在研发和生产中对器件性能的分析和对工艺进一步优化提供重要依据.近期在实验室使用Keithley的仪器搭建OLED测试系统来实现各种OLED的测试需要.文章主要
LCoS是一种特殊的积體电路晶片,在大萤幕投影显示和微型显示方面具有巨大的市场應用前景.本文设计了SVGA解析度的LCoS晶片,在国内积體电路制造工厂流片,开发了LCoS显示模组,
嘎拉是目前苹果中熟品种的优良品种,目前各地栽培该品种的果园很多。但该品种果实的均一性差,树的生长势易强旺,在修剪中应注意解决此问题。其整形修剪方法如下。
Gala is t
OLED用ITO导电玻璃的技术要求有,降低ITO薄膜的微观表面粗糙度、进一步降低ITO的面电阻、要求在ITO之上还要镀金属导电膜、严格控制表面缺陷.相应的制造技术包括,改善表面粗