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PLD法制备BaZrO<,3>薄膜及其铁电性质的研究
PLD法制备BaZrO<,3>薄膜及其铁电性质的研究
来源 :第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sanlyye
【摘 要】
:
该文介绍了利用PLD(Pulsed Laser Deposition)在MgO基底上制备YBCO/BaZrO
【作 者】
:
蔡卫星
康琳
杨森祖
【机 构】
:
南京大学电子系微结构科学技术高等研究中心
【出 处】
:
第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
法制
两层薄膜
应用前景
衍射分析
生长情况
样品
显示
结构
技术
基底
电路
测量
材料
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该文介绍了利用PLD(Pulsed Laser Deposition)在MgO基底上制备YBCO/BaZrO<<3>多 层薄膜的技术,用X衍射分析了样品的结构,显示了这两层薄膜的生长情况良好,并测量了BaZrO<,3>的电路回线。讨论和展望了BaZrO<,3>材料的应用前景。
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