干式真空泵的应用和发展

来源 :2013年广东省真空学会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:billyte
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无油干式机械真空泵(又简称干式真空泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵.目前干式真空泵包括干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油往复真空泵、无油涡旋真空泵.螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点.
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