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会议论文
碳纳米管及其在真空微电子器件中的应用
碳纳米管及其在真空微电子器件中的应用
来源 :中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:thirdpine98
【摘 要】
:
作者利用电弧法、热分解法和CVD法制备出材料样品,在碳纳米管红外吸收特性方面取得了初步研究成果,同时介绍了碳纳米管在真空电子器件中的应用实例.
【作 者】
:
朱长纯
【机 构】
:
西安交通大学电子科学与技术系
【出 处】
:
中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议
【发表日期】
:
2002年期
【关键词】
:
碳纳米管
真空微电子器件
真空电子器件
红外吸收特性
研究成果
热分解法
电弧法
应用
样品
法制
材料
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作者利用电弧法、热分解法和CVD法制备出材料样品,在碳纳米管红外吸收特性方面取得了初步研究成果,同时介绍了碳纳米管在真空电子器件中的应用实例.
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