碳纳米管及其在真空微电子器件中的应用

来源 :中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:thirdpine98
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作者利用电弧法、热分解法和CVD法制备出材料样品,在碳纳米管红外吸收特性方面取得了初步研究成果,同时介绍了碳纳米管在真空电子器件中的应用实例.
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