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Fabrication of Patterned Surface on SiC Materials by Inductively Coupled Plasma System
【机 构】
:
College of Engineering,Chung-Hua University,No.707,See.2,Wu Fu Rd.,Hsin Chu 30067,Taiwan
【出 处】
:
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
:
2011年期
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期刊
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