【摘 要】
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声表面波(SAW)器件的温度特性一直是传感领域研究的重要问题之一.近年来,随着压电层状导波声波器件的不断涌现,基于有限元结合边界元的模型无法精确分析如此复杂的器件.本文
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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声表面波(SAW)器件的温度特性一直是传感领域研究的重要问题之一.近年来,随着压电层状导波声波器件的不断涌现,基于有限元结合边界元的模型无法精确分析如此复杂的器件.本文基于COMSOL软件提出一种新的声表面波温度特性的模拟方法.以基于石英基片的单端SAW谐振器模型为基础,分析了温度场作用下SAW的频率温度特性.结果表明此方法与实际测量的SAW器件温度特性比较符合,为设计宽温度范围下温度补偿的压力传感器提供了重要指导.
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