塑料基板上激光诱导选择性化学镀铜

来源 :第14届全国特种加工学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xingxing7978

【摘要】

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利用激光与化学镀相结合,摒弃传统化学镀铜中环境污染、价格昂贵的活化工艺,成功实现了无需掩膜技术即可在塑料基板表面进行图形化金属沉积.采用SEM、EDX等分析技术进行微观

【作者】

：

彭啸江开勇

【机构】

：

华侨大学机电及自动化学院,福建厦门361021

【出处】

：

第14届全国特种加工学术会议

【发表日期】

：

2011年期

【关键词】

：

塑料基板激光诱导选择性元素含量测定四探针测试仪化学镀铜镀层附着力掩膜技术

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利用激光与化学镀相结合,摒弃传统化学镀铜中环境污染、价格昂贵的活化工艺,成功实现了无需掩膜技术即可在塑料基板表面进行图形化金属沉积.采用SEM、EDX等分析技术进行微观形貌观察和元素含量测定,并检测分析了金属镀层附着力。结果显示:镀层与塑料基板附着力受激光功率影响很大,当功率足够大时,结合力良好.用数字式四探针测试仪测量镀层方阻为3 mΩ/□,导电性良好.

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