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本文系统的进行了Zn0纳米薄膜、纳米线、纳米岛阻变存储特性的研究工作。通过进行试验分析，采用Zn0纳米材料制备存储器，可实现各种存储功能，并有望将器件尺寸缩小到5nm以下。
ZnO基阻变存储器
【摘 要】
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本文系统的进行了Zn0纳米薄膜、纳米线、纳米岛阻变存储特性的研究工作。通过进行试验分析，采用Zn0纳米材料制备存储器，可实现各种存储功能，并有望将器件尺寸缩小到5nm以下。
【机 构】
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兰州大学物理学院,甘肃 兰州 730000
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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