【摘 要】
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本文采用RF磁控溅射和水热合成法相结合,沉积ZnO纳米片结构薄膜于36°YX-LiTaO3基片,研制多层结构的声表面波氢气传感器.利用XRD及SEM分析ZnO薄膜的晶体结构和形貌,表明所制备的ZnO薄膜为多晶结构、且具有纳米片状形貌.该ZnO纳米片薄膜具有大的表面/体积比,极有利于成为气体敏感材料.将研制的声表面波传感器进行室温条件下对氢气的实时传感检测,结果显示该声表面波传感器具有灵敏的氢气传感
【机 构】
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南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210046;南京大学声学研究所近代声学实验室,南京210093
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本文采用RF磁控溅射和水热合成法相结合,沉积ZnO纳米片结构薄膜于36°YX-LiTaO3基片,研制多层结构的声表面波氢气传感器.利用XRD及SEM分析ZnO薄膜的晶体结构和形貌,表明所制备的ZnO薄膜为多晶结构、且具有纳米片状形貌.该ZnO纳米片薄膜具有大的表面/体积比,极有利于成为气体敏感材料.将研制的声表面波传感器进行室温条件下对氢气的实时传感检测,结果显示该声表面波传感器具有灵敏的氢气传感特性。
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