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基于离轴非球面反射镜的高分辨力光学成像系统在光学遥感器中的应用日益增多,高精度的离轴非球面反射镜加工过程中的检测环节是相对复杂、繁琐的.本文提出了两种离轴非球面反射镜在加工过程中的面形误差测试与数据处理方法:1.将干涉检测得到的数据点进行离轴镜的畸变矫正(如图1).矫正的精度与镜体尺寸和补偿器参数相关;以离轴镜几何中心作为中心,使用最小二乘法对离轴镜进行同轴拟合,拟合的确定系数接近1,得到的非球面系数可指导高精度加工.