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中国微光刻、电子束光刻及标准化技术的进展
【机 构】
:
中国科学院微电子研究所,北京 100029
【出 处】
:
2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
:
2014年4期
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