【摘 要】
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SiN薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中,其热物性在某些器件中显得很重要.为了研究SiN薄膜的热容、辐射、对流等热物性,文中设计出一种悬膜结构,并从理论上分析了此结构的传热机理.实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的SiN微尺度悬膜,并通过测试得到了SiN薄膜的热学参数.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)
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Si<,3>N<,4>薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中,其热物性在某些器件中显得很重要.为了研究Si<,3>N<,4>薄膜的热容、辐射、对流等热物性,文中设计出一种悬膜结构,并从理论上分析了此结构的传热机理.实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si<,3>N<,4>微尺度悬膜,并通过测试得到了Si<,3>N<,4>薄膜的热学参数.
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