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本文介绍了实验室自制的用于气体分析的电子轰击离子源(EI)垂直加速式飞行时间质谱仪(Oa-TOFMS)的原理、结构以及实验结果，搭建了一套气路系统模拟炉气释放过程并实现对N2,O2，CO2,Ar等多气体成分的同时快速在线分析。结果表明，仪器分辨率优于500(FWHM)，仪器的是敏度明显优于3.3×10-4，响应速度快，质量检测范围宽，能够满足多种气体成分的同时快速检测。仪器经改造后可以用于冶金及材料行业中气体成分的快速分析。