利用MEMS技术设计微型毛细泵吸环路

来源 :第十届全国热管会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zfbandfsy
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近年来在微流体应用当中,由于微机电系统制程上的精进,利用缩小微流道尺寸,使流体藉由毛细力来带动整个系统循环,达到被动式运作的目的。在这些采用自然力的被动式微流体系统中,探讨其液气接口或液固接口间表现的行为是主要的重点。本研究主要针对微型毛细泵吸环路(Micro-CPL)之蒸发区做肋骨微流道设计,此蒸发区同时可应用于微型甲醇燃料电池(Micro-DMFC)之反应区当中。上述两个系统要能正常运作,流体必须先克服阶梯障碍,使流体能顺利带进蒸发区。之后当液体受热产生蒸气时,蒸发区产生之背压回推液体,期望藉由前端肋骨结构密集排列设计,利用毛细力或渐缩渐扩(Nozzle-Diffuser)效应阻挡其回推。最后蒸气产生处留一空间(Chamber),使其能往蒸气流道方向带出。本实验设计一大小为6mm×5mm之蒸发区结构,针对前端不同深度所产生的深宽比(Aspect Ratio)差异,对其液体流进蒸发区速度,抵抗气体回冲能力,以及布满蒸发区时间做比较分析。
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