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本文用球形探针微悬臂梁模型计算模拟了轻敲模式下原子力显微镜工作时，针尖-样品距离极小(微米级)的情况下，针尖和样品之间压膜阻尼的作用，通过与制作的针尖为硅小球的探针实验数据及其他数值结果的比较发现，该计算模型能较好地符合实验结果，从而解释该实验过程中能量耗散机理。
原子力显微镜中压膜阻尼特性研究
【摘 要】
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本文用球形探针微悬臂梁模型计算模拟了轻敲模式下原子力显微镜工作时，针尖-样品距离极小(微米级)的情况下，针尖和样品之间压膜阻尼的作用，通过与制作的针尖为硅小球的探针
【机 构】
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北京化工大学机电工程学院北京100029
【出 处】
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第十六届现代数学和力学学术会议(MMM-XVI2018)
【发表日期】
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2018年8期
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