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本文介绍激光干涉光刻的基本原理,对几种光束组合形式的干涉给出了理论推导结果,并对部分结构方案进行了模拟.
干涉光刻的原理及计算机模拟
【摘 要】
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本文介绍激光干涉光刻的基本原理,对几种光束组合形式的干涉给出了理论推导结果,并对部分结构方案进行了模拟.
【机 构】
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四川大学物理系(成都),中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)四川大学物理系(成都)中国科学院微电子中心(北京)四川师范学院物理系(南充)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年10期
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