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随着新能源需求不断增大和电子信息科技不断发展,太阳能电池作为利用太阳能源有效的方式备受亲睐。多晶硅薄膜太阳能电池因其优良的光电性能及相对廉价的生产成本成为国内外太阳能薄膜电池产业关注的热点。如何提高薄膜太阳能电池的转换效率是研究的关键。多晶硅薄膜晶粒尺寸的增大,结晶率的升高有利于太阳能电池短路电流的升高,开路电压的降低,从而提高太阳能电池的转换效率。本课题组针对太阳能薄膜电池中高质量半导体多晶硅薄膜的制备做了探究性的工作,采用X射线衍射仪(XRD)、显微共焦拉曼光谱仪对射频磁控溅射法和快速热退火(RTA)处理后的多晶硅薄膜进行了晶面取向、结晶率、晶粒尺寸等结构和性质方面的表征分析。